| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH063282(A) |
申请公布日期 |
1994.01.11 |
| 申请号 |
JP19920164632 |
申请日期 |
1992.06.23 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
AOI MASAKAZU;YAMAMOTO KOJI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01J1/04;G01N21/88;G01N21/94;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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