发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITIONS, THEIR PREPARATION AND USE
摘要
申请公布号 EP0554040(A3) 申请公布日期 1993.12.29
申请号 EP19930300536 申请日期 1993.01.26
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OKINOSHIMA, HIROSHIGE;KATO, HIDETO
分类号 C08G73/10;C08K5/27;C08K5/42;C08L79/08;G03F7/022;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/06;(IPC1-7):C08L79/08 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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