发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05347137(A) 申请公布日期 1993.12.27
申请号 JP19920180473 申请日期 1992.06.15
申请人 JEOL LTD 发明人 KOBAYASHI HIDEO
分类号 H01J37/09;G01N23/227;H01J37/141;H01J37/285;(IPC1-7):H01J37/285 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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