发明名称 SURFACE INSPECTION METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05340840(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920153267 申请日期 1992.06.12
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 IIMA MITSUNORI
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30;G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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