| 发明名称 |
PROCEDE D'EPITAXIE SELECTIVE ET DE GRAVURE DE MATERIAU III-V OU II-VI DANS UN MEME BATI DE CROISSANCE OMCVD. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2667197(B1) |
申请公布日期 |
1993.12.24 |
| 申请号 |
FR19900011615 |
申请日期 |
1990.09.20 |
| 申请人 |
AZOULAY ROSETTE;DUGRAND LOUIS |
发明人 |
AZOULAY ROSETTE;DUGRAND LOUIS |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/365 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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