发明名称 PAD STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343466(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920152465 申请日期 1992.06.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ONO TAKIO
分类号 H01L21/60;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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