| 发明名称 |
TEMPERATURE DETECTOR AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION METHOD AND DEVICE WITH THE USE OF THE DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06331457(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930116965 |
申请日期 |
1993.05.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
EDAMURA MANABU;TAKAHASHI NUSHITO;TAMURA NAOYUKI |
| 分类号 |
C23F4/00;G01K11/12;G01K11/20;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G01K11/12 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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