发明名称 LSI DESIGN SUPPORT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05343521(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920145453 申请日期 1992.06.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MURAKAMI MASAAKI;OCHI YOSHIKIMI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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