发明名称 UNDERWATER SEPARATION TANK
摘要
申请公布号 JPH05343387(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920143875 申请日期 1992.06.04
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 HASEGAWA ATSUSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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