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发明名称
UNDERWATER SEPARATION TANK
摘要
申请公布号
JPH05343387(A)
申请公布日期
1993.12.24
申请号
JP19920143875
申请日期
1992.06.04
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
HASEGAWA ATSUSHI
分类号
H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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