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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343446(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920152256 申请日期 1992.06.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAMORI KAZUHIRO
分类号 H01L21/52;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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