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发明名称 ELECTRON BEAM PATTERN DRAWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05343306(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920145402 申请日期 1992.06.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAZAKI MATSUO;YODA HARUO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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