| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE AND ITS PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05343194(A) |
申请公布日期 |
1993.12.24 |
| 申请号 |
JP19920145405 |
申请日期 |
1992.06.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATANABE TAKESHI;MURAMATSU SHINICHI;TAMURA KATSU;TSUTSUI KEN;OGAWA HIROBUMI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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