发明名称 Einrichtung zum Aufdampfen einkristalliner Schichten auf Unterlagen
摘要
申请公布号 DE1298512(B) 申请公布日期 1969.07.03
申请号 DE1964T025814 申请日期 1964.03.13
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 SCHUETZE;HANS-JUERGEN DIPL.-PHYS. DR.;HENNINGS;KLAUS DIPL.-PHYS. DR.
分类号 C30B23/06 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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