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发明名称 Apparatus for vacuum deposition of sublimative substance
摘要
申请公布号 US5272298(A) 申请公布日期 1993.12.21
申请号 US19910815198 申请日期 1991.12.31
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAGUCHI, TOSHIO;HOSHI, YOUNOSUKE;SUEDA, MINORU;KAMIKAWA, SUSUMU
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):H05B6/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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