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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05333100(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920163727 申请日期 1992.05.29
申请人 TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 FUJIWARA HITOSHI
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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