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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335247(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920134598 申请日期 1992.05.27
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 OKANO KIYOSHI;HOSODA TADATSUGU
分类号 C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
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