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发明名称 VACUUM REACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335279(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920164235 申请日期 1992.05.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YONEDA MASAHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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