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发明名称 IC HANDLER
摘要
申请公布号 JPH05335386(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920136565 申请日期 1992.05.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SHIMIZU ENG KK 发明人 YABE KYOJI;SUGIYAMA SHIGEAKI;KAWASHIMA EIJI;OGAWA TAKEO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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