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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335361(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920134561 申请日期 1992.05.27
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MIYANAGA KOUICHI
分类号 B29C45/57;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 B29C45/57
代理机构 代理人
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