发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326395(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920128356 申请日期 1992.05.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AOKI RIICHIRO;OKUMURA KATSUYA
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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