发明名称 VERTICAL-TYPE HOUSING JIG
摘要
申请公布号 JPH05326431(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19900417020 申请日期 1990.12.31
申请人 FUKUI SHINETSU SEKIEI:KK;SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD 发明人 TANIYAMA KOICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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