发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326497(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920125046 申请日期 1992.05.18
申请人 NIPPON SEMICONDUCTOR KK 发明人 SASAKI YOSHITAKA
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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