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发明名称 SCAVENGER FOR DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 JPH05326428(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920124801 申请日期 1992.05.18
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SUZUKI KENJI
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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