| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING RAISING/LOWERING SPEED OF BOAT OF VERTICAL DIFFUSION CVD APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05326668(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
| 申请号 |
JP19920148146 |
申请日期 |
1992.05.14 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MIYAZAKI MINEYOSHI;SAITO RYOJI |
| 分类号 |
C30B25/12;H01L21/22;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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