发明名称 MICROWAVE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH05325811(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920162137 申请日期 1992.05.27
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 WADA HAJIME;MIYAMOTO NAOKI;MAENO SHUICHI
分类号 H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/16 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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