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发明名称
MICROWAVE ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH05325811(A)
申请公布日期
1993.12.10
申请号
JP19920162137
申请日期
1992.05.27
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
WADA HAJIME;MIYAMOTO NAOKI;MAENO SHUICHI
分类号
H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/16
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
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