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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DRIVING MICRO MACHINE
摘要
申请公布号 JPH05321819(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920148343 申请日期 1992.05.14
申请人 CANON INC 发明人 TOMITA YASUO
分类号 F03G7/00;F03H3/00;H01S5/00;H02N11/00;(IPC1-7):F03G7/00;H01S3/18 主分类号 F03G7/00
代理机构 代理人
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