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发明名称 WORK CONVEYING ROBOT
摘要
申请公布号 JPH05318345(A) 申请公布日期 1993.12.03
申请号 JP19920125017 申请日期 1992.05.18
申请人 HITACHI LTD;HITACHI GAZOU JOHO SYST:KK 发明人 AZUMA HITOSHI;SAKATA TOMOAKI;SUZUKI TAKAMICHI;ODAJIMA HITOSHI;ITO TETSUO
分类号 B25J9/00;B25J9/10;B25J18/02;B25J18/06;B25J19/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J9/00 主分类号 B25J9/00
代理机构 代理人
主权项
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