发明名称 Piezoelektrisches Schichtelement und Verfahren zur Herstellung.
摘要
申请公布号 DE68907228(T2) 申请公布日期 1993.12.02
申请号 DE19896007228T 申请日期 1989.01.28
申请人 XAAR LTD., CAMBRIDGE, GB 发明人 MICHAELIS, ALAN JOHN, CHICAGO ILLINOIS 60606-1265, US;PATON, ANTHONY DAVID, LONGSTANTON ST.MICHAEL CAMBRIDGE, GB
分类号 H01L41/22;H01L41/24;(IPC1-7):H01L41/22 主分类号 H01L41/22
代理机构 代理人
主权项
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