发明名称 Interferometric process for testing optical elements producing aspherical wave fronts.
摘要
申请公布号 EP0370229(B1) 申请公布日期 1993.12.01
申请号 EP19890119245 申请日期 1989.10.17
申请人 FIRMA CARL ZEISS;CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS 发明人 KUECHEL, MICHAEL, DR.
分类号 G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/02;G01B11/24 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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