| 发明名称 |
HEATING METHOD OF SUBSTRATE TO BE TREATED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05315236(A) |
申请公布日期 |
1993.11.26 |
| 申请号 |
JP19910213265 |
申请日期 |
1991.05.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TABUCHI SHUJI;SUZUKI MASAFUMI |
| 分类号 |
F26B3/20;F26B23/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
F26B3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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