发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05315593(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19910179696 申请日期 1991.07.19
申请人 NEC CORP 发明人 OKADA KENJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/41;H01L29/43;(IPC1-7):H01L29/44;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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