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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND STRUCTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05315308(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920094677 申请日期 1992.04.15
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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