发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05315371(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920117850 申请日期 1992.05.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOJIMA MASAKAZU
分类号 H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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