发明名称 Doppelmikroskop zur Beobachtung von Positionsvorgaengen vorzugsweise in der Siliziumplanartechnologie
摘要
申请公布号 DE1572557(A1) 申请公布日期 1970.04.23
申请号 DE19671572557 申请日期 1967.10.19
申请人 ARBEITSSTELLE FUER MOLEKULARELEKTRONIK 发明人 WESTPHAL,DIPL.-PHYS.PETER
分类号 G02B21/00;G02B21/18 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
地址