| 发明名称 |
A CHAMBER FOR THE TRANSPORT OF WORKPIECE IN A VACUUM ATMOSPHERE,A CHAMBER COMBINATION AND A METHOD FOR TRANSPORTING A WORKPIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9320452(D0) |
申请公布日期 |
1993.11.24 |
| 申请号 |
GB19930020452 |
申请日期 |
1993.10.05 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
B23P19/00;C23C14/56;G11B5/84;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105;G11B25/04;H01L21/677 |
主分类号 |
B23P19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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