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发明名称 SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05312564(A) 申请公布日期 1993.11.22
申请号 JP19920120642 申请日期 1992.05.13
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 ITO SHUICHI
分类号 G01B21/30;G01Q10/02;G01Q20/00;G01Q30/02;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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