| 发明名称 |
APPARATUS FOR COATING HARD SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05309302(A) |
申请公布日期 |
1993.11.22 |
| 申请号 |
JP19920140967 |
申请日期 |
1992.05.06 |
| 申请人 |
FUJI PHOTO FILM CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHINYA;MATSUOKA HIROSHI;KUMAGAI HIROFUMI;OZAKI MASABUMI;EMOTO TATSUYA |
| 分类号 |
B05C1/02;B05C11/10;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):B05C1/02 |
主分类号 |
B05C1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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