| 发明名称 |
COATING APPARATUS AND FILM FORMING APPARATUS HAVING COATING APPARATUS INCORPORATED THEREIN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05305263(A) |
申请公布日期 |
1993.11.19 |
| 申请号 |
JP19920136124 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
KUMAZAWA HIROTSUGU;KOBAYASHI KATSURO;SAGO HIROHITO |
| 分类号 |
B05C5/00;B05C11/08;B05C11/10;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
B05C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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