发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH05304110(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920086778 申请日期 1992.04.08
申请人 NEC CORP 发明人 KAI MAKOTO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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