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发明名称 DRAWING METHOD BY CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH05304080(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19910205084 申请日期 1991.08.15
申请人 JEOL LTD 发明人 KOMAGATA TADASHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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