发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05304108(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920131834 申请日期 1992.04.24
申请人 SONY CORP 发明人 MIYAMOTO TAKAAKI
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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