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发明名称 SUPPORT CARRIER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR930010825(B1) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 KR19900011038 申请日期 1990.07.20
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 KODERA, MASAKO;WATANABE, TORU;OKUMURA, KATSUYA
分类号 H01L21/304;H01L21/673;(IPC1-7):H01L29/34;H01L21/68 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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