发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05299516(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920096452 申请日期 1992.04.16
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 MIYAJIMA MOTOMORI;SHIN DAISHIYOKU;HARADA HIDEKI
分类号 H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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