| 发明名称 |
FOCUSED ION BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05299716(A) |
申请公布日期 |
1993.11.12 |
| 申请号 |
JP19920182050 |
申请日期 |
1992.07.09 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
NAGAMACHI SHINJI;KIRI MOTOSADA |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/203;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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