发明名称 LEAF CELL AUTOMATIC GENERATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05299507(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920106332 申请日期 1992.04.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI MIWAKA
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址