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发明名称 METHOD FOR REDUCING DIELECTRIC CONTAMINATION IN INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0542481(A3) 申请公布日期 1993.11.10
申请号 EP19920310152 申请日期 1992.11.05
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 HERRING, FELICIA GARRETT;TWIFORD, MICHAEL SCOTT;VITKAVAGE, DANIEL JOSEPH
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/310 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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