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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05295532(A)
申请公布日期
1993.11.09
申请号
JP19920122823
申请日期
1992.04.17
申请人
TDK CORP
发明人
ONODERA AKIRA
分类号
C23C14/34;C23C14/00;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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