发明名称 FACE-DOWN BONDING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291353(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920094686 申请日期 1992.04.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUNAGA AKIFUMI;KASAHARA SHINICHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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