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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291503(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920113050 申请日期 1992.04.06
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 WADA SHOJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/60;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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