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发明名称 CLEAN BOOTH
摘要
申请公布号 JPH05291099(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920087405 申请日期 1992.04.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUTAMURA SEIYA;OKEWAKI YASUNORI
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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